Tevhid Mertebeleri’nin üçüncüsü “Tevhîd-i Zât” yâni “Zat’ın birliği”dir. “Tevhîd-i Zât”, aynı zamanda fena (yokluk) makamlarının da sonuncusudur.

Tevhîd-i Ef’âl ile başlayan Fena Mertebeleri, sırasıyla Tevhîd-i Sıfat ile devam eder ve Tevhîd-i Zat ile sona erer. Bu mertebeleri hakkıyla idrak eden kişi fiillerini, sıfatlarını ve zatını Hakk’a vererek “Ölmeden önce ölünüz” sözünün sırrını zevk etmiş ve hiçlik idrakinin ne olduğu hakkında bir izlenim elde etmiştir.

Tevhid-i Zat’ın idrakine kaynaklık eden düşünce: “Lâ mevcûde illâ Hû”, yani “O’ndan başka varlık yoktur” ifadesidir.

Buraya gelen kişi ölmeden evvel ölmenin zevkine varmış, kendi mülkü zannettiği ef’al, sıfat ve zat’ı Hakk’a teslim ederek “Hiç” olduğunu anlamıştır. Tevhid-i Zat, nefsaniyetin bittiği ruhaniyyetin başladığı, yoğunluğun yerini şeffaflığa bıraktığı bir makamdır.

Ve bu makam; uykunun (rüyanın) sona erip uyanıklığın devreye girdiği bir makamdır. Tevhid-i Zat’ı bir kere idrak eden kişi için varlığın perdeleyici (aldatıcı, ikiyüzlü) görüntüsü kaybolur, onun yerini artık “O’ndan başka hiçbir varlık yoktur” zevki alır.

Böylece, Fena Mertebeleri tamam olmuş, Beka Mertebeleri başlamıştır.

Tevhîd-i Zat neşesini zevk ve hazmeden biri için artık tüm varlıkların insanlar için bir mekri (hilesi) kalmaz. Nereye dönse muhatabı Hakk’dır. Her ân Hakk’ın huzurunda bulunmanın kendisine bahşettiği Üstün Edeb’le hareket eder.